製品機能：

◆マルチアームエアマニピュレータを採用し、正確な位置決めを行い、効率が高い。

◆ヒューマンインタフェース、PLCプログラム制御、タッチパネル操作。

◆水系型洗浄剤、DI水、IPA洗浄乾燥。

◆間接式熱伝導油加熱方式、全自動IPA検出、消火装置。

◆ラック及び全密閉カバーHEPA高効率エアフィルタにより、二次汚染を防止する。

◆多種の洗浄周波数洗浄設備：40 KHz、80 KHz、100 KHz、120 KHzを採用する。